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腐蚀工作台

产品名称:腐蚀工作台
类别系列:腐蚀工作台
咨询热线:0512-65436999
传真号码:0512-65997431
联系地址:中国 苏州 相城区太平工业区顺乐路9号
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1.本设备是3槽腐蚀工作台,适用于4英寸以下半导体硅片氧化前的清洗工艺。本设备采用RCA部分清洗工艺,采用国际标准生产加工,在超净厂房组装测试,有可靠的质量保障
2. 整机由机台、操作台面、清洗槽体、药液槽体、药液温度控制系统,排风、电气控制系统等组成。整机由PP板和PVC板焊接而成,美观、耐腐蚀。
3.腐蚀水域槽为不锈钢材料;腐蚀槽为石英材料(槽口部有法兰),带盖;
4.加热方式:不锈钢内加热器,控温范围:室温-70℃,精度±1℃;
5.清洗槽为NPP材料,配有鹅颈水龙头。设有纯水管路、自来水管路及手动调节阀,下水自然放。
6.配置国际知名品牌喷淋枪一把、氮气Airbrush一把;
7.排风通道:工作台后部、上部同时排风;
8.配有有机玻璃翻门,塑料推拉门,储物柜