产品名称：单面去磷硅玻璃清洗机
类别系列：太阳能电池清洗机 > 单面去磷硅玻璃清洗机
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单面去磷硅玻璃清洗机
Chaining De-PSG Etching
最新一代产品 – 良好的均匀性一致性
性能及优点
标准化的刻蚀过程
精密控制传送时间
均匀刻蚀整片硅片
完全自动化控制
降低总成本
无水痕干燥
技术参数
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功用 |
单面去磷硅玻璃清洗 |
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碎片率 |
≤0.1% |
≤0.1% |
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占地 |
4700 x 2300 x (长 x 宽 x 高) |
4700 x 2300 x (长 x 宽 x 高) |
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产能 Throughput |
≥3600PCS/H |
≥3600PCS/H
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硅片厚度 Thickness |
> 180 μm |
> 180 μm |
注 : 具体工艺可根据客户要求设计